Thẩm Pháp Hưng là người Hồ châu (湖州, nay gần tương ứng với Hồ Châu, Chiết Giang). Phụ thân ông là Thẩm Khác (沈恪) làm quan cho Nam triều Trần, từng giữ các chức vụ như 'đặc tiến', Quảng châu thứ sử, Giao châu thứ sử. Sau khi phụ thân qua đời, Thẩm Pháp Hưng kế tập tước Đông Hưng công, song Nam triều Trần đã bị triều Tùy tiêu diệt vào năm 589.

Năm 618, Thẩm Pháp Hưng nhậm chức thái thú quận Ngô Hưng (吳興, Hồ châu trước kia) dưới quyền Tùy Dạng Đế. Do quân nổi dậy của Lâu Thế Can (樓世干) tiến vào quận thành Đông Dương, Tùy Dạng Đế đã lệnh cho Thẩm Pháp Hưng cùng thái bộc Thừa Nguyên Hựu (丞元祐) dẫn quân đi trấn áp. Sau khi Tùy Dạng Đế bị sát hại tại Giang Đô (江都, nay thuộc Dương Châu, Giang Tô), Thẩm Pháp Hưng tuyên bố chống lại Vũ Văn Hóa Cập, tập hợp binh lính trong vùng, quân số trên 6 vạn người, chiếm được hơn 10 quận, bao gồm cả các thành như Dư Hàng (餘杭, nay thuộc Hàng Châu, Chiết Giang), Bì Lăng (毗陵, nay thuộc Thường Châu, Giang Tô), và Đan Dương (丹楊, nay thuộc Nam Kinh, Giang Tô). Trong đó, do Bì Lăng quận thông thủ Lộ Đạo Đức (路道德) suất binh kháng cự, Thẩm Pháp Hưng đã cùng đồng minh giết chết Lô Đạo Đức, chiếm thành. Thẩm Pháp Hưng tự xưng là Giang Nam đạo tổng quản, và thực thi quyền lực như một đế vương.

Vào mùa thu năm 618, Thẩm Pháp Hưng sai sứ giả đến dâng biểu quy phục Dương Đồng tại đông đô Lạc Dương, song tự xưng là đại tư mã, lục thượng thư sự, Thiên Môn công. Thẩm Pháp Hưng cũng tự xây dựng chính quyền, phong Trần Quả Nhân làm tư đồ, Tôn Sĩ Hán làm tư không, Tưởng Nguyên Siêu làm thượng thư tả bộc dạ, Ân Thiên làm thượng thư tả thừa, Từ Lệnh Ngôn làm thượng thư hữu thừa, Lưu Tử Dực làm tuyển bộ thị lang, Lý Bá Dược làm phủ duyện.